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操作 
微桥空气质量流量传感器的工作原理传热的理论。空气质量流量是跨越传感元件的表面定向。在通过封装的入口和出口的比例为质量空气或其它气体流的输出电压而变化。特别设计的房屋正是指挥和控制整个微传感元件的气流。封装的机械设计使得它能够被容易地安装到印刷电路板。 
微桥空气质量流量传感器基于先进的显微技术，独特的硅芯片上。它包括一个薄膜，含有加热器和温度传感元件的热隔离的桥结构。桥结构提供到空气或其它气体的过芯片的流动的敏感和快速的响应。定位于中央加热元件两侧的双重感测元件指示流动方向以及流速。激光微调厚膜和薄膜电阻提供一致的互换性从一个设备到下一个。 
微桥空气质量流量传感器使用的氮化硅薄膜中的沉积温度敏感的电阻器。它们是通过在所述硅的蚀刻腔体悬浮在两桥的形式。该芯片位于一个精确尺寸的气流通道，以提供一个可重复的流程的响应。用于加热器和感测电阻器的高效热绝缘，通过蚀刻所述流量传感器桥梁下方的空腔空间实现。小尺寸和微桥的空气质量流量传感器的热隔离是负责极快的响应和高灵敏度的流量。 
双惠斯通电桥控制气流测量 - 1提供闭环加热器控制，另一个包含双重感测元件。加热器电路最小化移位，由于环境温度的变化，提供成比例的输出的质量流量。该电路保持加热器温度在一个恒定的差（160℃）以上的环境空气温度是由芯片上的热沉电阻感测。该装置的比例的电压输出对应于在整个惠斯登电桥电路的差分电压。 
公告 
粉尘污染的影响，这可能导致形成一些应用中，可以最小化。通过设计，灰尘颗粒可能存在的空气流中会流过平行于芯片表面的芯片。此外，微结构芯片产生热泳效应，排斥微米尺寸的灰尘颗粒远离桥结构。 
一个简单的过滤器可以防止灰尘粘附到芯片边缘和道面。在大多数应用中足够的滤波可以与串联使用的气流装置的上游侧的一次性5微米过滤器来实现。 
小心 
产品损坏 
AWM系列微桥质量气流传感器不被设计用于感测液体流，并将由液体流过传感器被损坏。 
不遵守这些指示可能导致产品损坏。

产品特点 
精密微加工硅 
敏感的低流量 - 0.1 SCCM至20 SLPM 
为适应更高流量的使用 
快速响应时间 
模拟输出 
低功耗 
重复响应 
激光微调互换性 
准确，符合成本效益的流量检测 
在线印刷电路板端子 
标准2.54毫米（0.100）安装中心 
在4.0英寸水柱精确检测低压0.001（0.003～10毫巴）
典型应用 
阻尼器控制加热，通风和空调系统 
气体分析仪 
低真空控制 
过程控制 
医疗呼吸器和呼吸机 
制氧机 
检漏设备 
排气罩 
麻醉控制 
燃气计量 
气相色谱法